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Buch
Diamantbeschichtung komplexer Geometrien - Hochskalierung des Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung
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1994
Book
Title
Diamantbeschichtung komplexer Geometrien - Hochskalierung des Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung
Title Supplement
BMFT-Abschlußbericht 2/94
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Author(s)
Schäfer, L.
Bluhm, A.
Fryda, M.
Klages, C.-P.
Sattler, M.
Six, R.
Corporate Author
Bundesministerium für Forschung und Technologie -BMFT-, Bonn
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST