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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Diamantbeschichtung komplexer Geometrien - Hochskalierung des Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung
 
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1994
Book
Title

Diamantbeschichtung komplexer Geometrien - Hochskalierung des Heißdraht-CVD-Prozesses zur Diamantabscheidung

Title Supplement
BMFT-Abschlußbericht 2/94
Author(s)
Schäfer, L.
Bluhm, A.
Fryda, M.
Klages, C.-P.
Sattler, M.
Six, R.
Corporate Author
Bundesministerium für Forschung und Technologie -BMFT-, Bonn
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST  
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