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Konferenzschrift
Mikromechanisches gekoppeltes Schwingsystem für frequenzselektive Vibrationsmessungen
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2005
Conference Paper
Title
Mikromechanisches gekoppeltes Schwingsystem für frequenzselektive Vibrationsmessungen
Author(s)
Forke, Roman
Mehner, J.
Doetzel, W.
Geßner, Thomas
Mainwork
Mikro-System-Technik Chemnitz '05: Mikromechanik & Mikroelektronik
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik 2005
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS
