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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Digitale Mehrwellenlängen-Holografie für makroskopische Topografien in mikroskopischer Genauigkeit
 
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2010
Journal Article
Title

Digitale Mehrwellenlängen-Holografie für makroskopische Topografien in mikroskopischer Genauigkeit

Other Title
Digital multi-wavelength holography for macroscopic topographies with microscopic precision
Abstract
Optische Systeme für die Vermessung dreidimensionaler Oberflächen sind für die Inline-Inspektion oft zu langsam oder zu ungenau. Deshalb hat Fraunhofer IPM Inspektionssysteme entwickelt, die auf digitaler Mehrwellenlängen-Holografie basieren. Die Systeme zeichnen sich durch extrem kurze Messzeit und hohe Genauigkeit aus und sind daher für die 100-Prozent-Kontrolle in der Fertigungslinie geeignet.

; 

Optical systems for measuring three-dimensional surfaces are often too slow or too imprecise for inline inspection. That´s why Fraunhofer IPM has developed inspection systems based on multi-wavelength holography. Distinctive for their extremely short measuring times and high precision, the systems are suitable for 100 percent monitoring on production lines.
Author(s)
Carl, D.  
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Fratz, M.  
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Höfler, H.  
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Journal
Technisches Messen : TM  
DOI
10.1524/teme.2010.0049
Language
German
Fraunhofer-Institut für Physikalische Messtechnik IPM  
Keyword(s)
  • Mehrwellenlängen-Holografie

  • Inline-Messtechnik

  • Topografiemesstechnik

  • optische Meßtechnik

  • Qualitätskontrolle

  • multi-wavelength holography

  • inline measurement

  • topography measurement

  • optical measurement

  • quality control

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