2003
Conference Proceeding
Title

Reinigung in der Nano-Oberflächentechnik

Title Supplement
Workshop. Dresden, 18. November 2003, Wörlitz/Sachsen Anhalt
Person Involved
Blau, W.
Dorner, J.
Corporate Author
Europäische Forschungsgesellschaft Dünne Schichten e.V. -EFDS-
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik -IWS-, Kompetenzzentrum "Ultradünne Funktionale Schichten"
Fraunhofer-Allianz Reinigungstechnik
Amt für Wirtschaftsförderung, Dresden
Publishing Place
Dresden
Conference
Language
German
Keyword(s)