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Mikrotribologische und mikromechanische Eigenschaften dünner CNx- und DLC-Schichten
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2000
Journal Article
Title
Mikrotribologische und mikromechanische Eigenschaften dünner CNx- und DLC-Schichten
Author(s)
Staedler, T.
Schiffmann, K.I.
Journal
Materialwissenschaft und Werkstofftechnik
DOI
10.1002/1521-4052(200008)31:8<794::AID-MAWE794>3.0.CO;2-P
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
