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Abschlussarbeit
Untersuchung von nichtresonanten Antriebsprinzipien für Mikroscannerspiegel zur niederfrequenten bzw. quasistatischen Lichtablenkung
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2006
Diploma Thesis
Title
Untersuchung von nichtresonanten Antriebsprinzipien für Mikroscannerspiegel zur niederfrequenten bzw. quasistatischen Lichtablenkung
Thesis Note
Dresden, TU, Dipl.-Arb., 2006
Author(s)
Porth, C.
Advisor(s)
Sandner, T.
Publishing Place
Dresden
Language
German
Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme IPMS