Fertigen von Mikrostrukturen erfordert spezielle Prozessführung
Abstract
Die Herstellung von Strukturen im Mikrometerbereich, beispielsweise lichtauskoppelnde Mikrostrukturen für eine definierte Intensitätsverteilung moderner Beleuchtungssysteme, erfordert eine spezielle Prozessführung und hohe thermische Prozessstabilität der Diamantzerspanung.
