Herstellung von Teststrukturen zur Validierung zerstörungsfreier Prüfverfahren

Bei der Entwicklung neuer zerstörungsfreier Prüfverfahren und bei der Verifikation ihrer Leistungsfähigkeit für schwierige Anwendungsfälle sollten Testproben verfügbar sein, die nach Art, Lage, Größe und Menge typischen Fehlern enthalten und nach Material und Geometrie mit den Bauteilen und Komponenten identisch sind oder ihnen nahe kommen. Häufig ist dies nicht der Fall, so dass die Herstellung von Referenzproben mit definiert eingebrachten Defekten und Strukturen erforderlich ist. Dies erweist sich jedoch als besonders schwierig für höher auflösende Verfahren, da die Teststrukturen entsprechend fein und auffindbar sein müssen. Es gibt kaum Verfahren, diese in beliebigen Materialien gezielt herzustellen. In der hier vorgestellten Arbeit wird die Strukturierung von unterschiedlichen Materialien (Silizium, Metalle, Keramik) mittels Ionenfeinstrahlanlage (Focused Ion Beam, FIB) beschrieben. Die Proben und ihre Testfehler wurden mit hochauflösenden ZFP Verfahren wie akustischer Mikroskopie (SAM), Röntgen-CT und akustischer Rasterkraftmikroskopie (AFAM) untersucht.