Hochauflösende Magnetfeld-Positionssensoren

Magnetische Maßstäbe in Verbindung mit Magnetfeldsensoren sind Stand der Technik in der Positionssensorik. In dem Verbundprojekt AQUILA wird diese Technologie weiterentwickelt mit dem Ziel, eine höhere Auflösung zu erreichen. Diese soll unter 100 nm liegen. Um dieses Ziel zu erreichen, werden neue Konzepte für Maßstäbe und die passenden dazugehörigen magnetoresistive Sensoren erforscht. Die Energieautarkie des Sensorsystems soll durch einen neuartigen Multi-Energy-Harvester sichergestellt werden. Die neuen Komponenten werden im Rahmen des Projektes an Demonstratoren in zwei industriellen Anwendungen getestet, einmal in der Positionierung von Mikroskoptischen sowie in Präzisionswerkzeugen mit verstellbaren Durchmesser.