Flexible Medienversorgung und -entsorgung. Für fotolithographisches Prozeßzentrum neuartiges Konzept realisiert

Die Fertigung hochintegrierter Halbleiterbauelemente stellt inzwischen höchste Anforderungen an die notwendigen Medienver- und entsorgungssysteme. Vor allem dieser komplexe und sensible Fertigungsbereich verlangt nach neuen Systemlösungen. Um unter ausreichender Berücksichtigung des Sicherheits- und Umweltaspekts höhere Produktqualität und Wirtschaftlichkeit zu erreichen, wurde im Rahmen der Entwicklung eines neuartigen flexiblen Halbleiterfertigungszentrums für den Lithographiebereich auch die Medienver- und -entsorgung neu konzipiert.