Entwicklung eines modularen Mikromontagesystems zum Fügen mikrooptischer Komponenten

Für die Montage hybrider Mikrosysteme sind Fertigungseinrichtungen erforderlich, die die Positionierung der Bauteile mit hoher Genauigkeit realisieren, und gleichzeitig empfindliche Bauteile mit großer Formen- und Materialvielfalt sicher handhaben. Hierzu muß die herkömmliche manuelle oder mechanisierte Montage durch eine automatisierte Handhabung, Positionierung und Verbindungstechnik ersetzt werden. Der hier diskutierte Demonstrator stellt ein mikrooptisches System dar, welches aus einer SELFOC-Linse und zwei gekreuzten GRIN-Linsen besteht, die in einer Hülse gefaßt werden. Diese Anordnung dient der Strahlformung einer Breitstreifen-Laserdiode zur Einkopplung des Lichtes in eine Multimodefaser. Kernstück des Mikromontagesystems ist ein Präzisions-Sechs-Achsen-Knickarm-Roboter mit einer Auflösung < l Mikrometer und einer Positioniergenauigkeit < 50 Mikrometer. Hierauf aufbauend werden ein modular aufgebautes Werkzeugrevolversystem, an die Aufgabe angepasste, selbstzentrierende Greifer , Sensorik zur Teileerkennung, ein Dosiersystem zur exakten Klebstoffdosierung und eine Montageplattform zum Spannen der Fügeteile entwickelt und vorgestellt.