Hochtemperaturtaugliche, analoge Schaltungskomponenten in SIMOX-Technologie

Hochtemperaturtaugliche Schaltungen und Systeme gewinnen in zunehmendem Maße an Bedeutung. Die wichtigsten Anwendungsgebiete finden sich in der Automobilelektronik im Bereich des Motormanagement, in der Luft- und Raumfahrt im Bereich der Triebwerksteuerung, in der Tiefbohrtechnik und in der industriellen Prozeßleittechnik. Die Betriebstemperaturen liegen hier in einem Bereich von etwa - 40 Grad C bis + 300 Grad C. Mit der SIMOX-Technologie ist es durch eine drastische Reduzierung der Leckströme und der Vermeidung des CMOS-typischen Latchup prinzipiell möglich, hochtemperaturtaugliche Schaltungen auf Siliziumsubstraten für diesen Temperaturbereich zu realisieren. Im Rahmen dieser Arbeit wurden die Eigenschaften der in der SIMOX-Technologie herstellbaren Bauelemente untersucht und optimiert. Durch geeignete Schaltungstechnik und Kompensationsverfahren wurde die Funktionsfähigkeit dieser Schaltungen bis zu Betriebstemperaturen oberhalb von 300 Grad C gewährleistet.