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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Technologieentwicklung, Herstellung und Charakterisierung von hochauflösenden Inertialsystemen
 
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2014
Conference Paper
Title

Technologieentwicklung, Herstellung und Charakterisierung von hochauflösenden Inertialsystemen

Author(s)
Meinecke, Christoph Robert
Bertz, Andreas  
Dittrich, C.
Schunke, S.
Kreutziger, P.
Geßner, Thomas  
Mainwork
12. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik 2014. Mikromechanik & Mikroelektronik. CD-ROM  
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik 2014  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Elektronische Nanosysteme ENAS  
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