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1990
Conference Paper
Title
Mikrosensorik - Überblick, Trends, Sicherheitsaspekte
Abstract
Der Stand der Technik und die Vorteile, die Miniaturisierungstechniken bieten, werden näher erläutert. Am Beispiel mikromechanischer Sensoren zur Messung physikalischer und chemischer Größen werden innovative Konzepte sowie Beispiele zukünftiger mikromechanischer Systeme, die neben den detektierenden Elementen auch elektronische Komponenten zur Signalaufbereitung aufweisen, vorgestellt.