Laserbasierte Strahler-Empfänger-Baugruppe mit integrierter Mikrooptik zur Messung von Streulicht

Die Messung von gestreutem Licht in klaren Flüssigkeiten dient für den Nachweis von Abrieb und die Qualitätskontrolle. Die Entwicklung eines optischen Modells zeigt die Vorteile eines mikrooptischen Elementes. Es wird eine planare Strahler-Empfänger-Baugruppe mit integriertem vertikal emittierenden Laser (VCSEL) in Kombination mit einem Streumedium (MIE-Berechnungen) und einem strukturierten Absorber-/Reflektor-Element beschrieben. Die Geometrie des Reflektors wurde optimiert. So können Reflexionen kontrolliert werden. Durch den Einsatz der Mikrooptik kann die Effizienz des Sensors gesteigert werden. Der Beitrag beinhaltet die technische Beschreibung und Charakterisierung einer bisher realisierten Strahler-Empfänger-Baugruppe.

The measurement of scattered light of clear liquids serves for abrasion and quality control. The development of an optical model revealed the advantages of a micro-optical element. We describe the technical system of a planar emitter-receiver-device with integrated Vertical Cavity Surface Emitting Laser (VCSEL) in combination with a MIE-scattering medium, a reflective and partial absorbing reflector. The reflector geometry was optimized and reflections could be controlled. As a result the efficiency of the sensor increased. The technical realization is described eventually.