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Fraunhofer-Gesellschaft
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  3. Konferenzschrift
  4. Untersuchungen zur Herstellung von lateralen Tastnadeln für die Rasterkraftmikroskopie
 
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1999
Conference Paper
Title

Untersuchungen zur Herstellung von lateralen Tastnadeln für die Rasterkraftmikroskopie

Author(s)
Knöfler, R.
Bertz, A.
Wolf, K.
Küchler, M.
Gessner, T.
Mainwork
4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik. Mikrosystemtechnik  
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 1999  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
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