English
Deutsch
Log In
Log in with Fraunhofer Smartcard
Password Login
Research Outputs
Fundings & Projects
Researchers
Institutes
Statistics
Fraunhofer-Gesellschaft
Home
Fraunhofer-Gesellschaft
Konferenzschrift
Untersuchungen zur Herstellung von lateralen Tastnadeln für die Rasterkraftmikroskopie
Details
Full
Export
Statistics
Options
Show all metadata (technical view)
1999
Conference Paper
Title
Untersuchungen zur Herstellung von lateralen Tastnadeln für die Rasterkraftmikroskopie
Author(s)
Knöfler, R.
Bertz, A.
Wolf, K.
Küchler, M.
Gessner, T.
Mainwork
4. Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik & Mikroelektronik. Mikrosystemtechnik
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikromechanik und Mikroelektronik 1999
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM