Dünnschichttechnologie

Enthält 24 Beiträge: Physikalische Gasphasenabscheidung / Vakuumverdampfen / Bedampfen I / Bedampfen II / Zerstäuben von Oberflächen / Sputter-Abscheidung I / Sputter-Abscheidung II / Vakuumbogen / Vakuumbogen-Abscheidung I / Vakuumbogen-Abscheidung II / Puls-Laser-Deposition (PLD) / Chemische Gasphasenabscheidung (CVD) / Thermische CVD / Plasma-CVD / Atmosphärendruck-Plasma-CVD / Kombinations- und Mehrschrittverfahren / Beschichtung von Sondergeometrien / Vakuumanforderungen der PVD / Partikelbildung bei der CVD / Plasma-Eigenschaften / Gasentladungs-Plasmen / Plasma-Randschichten / Wechselfeld-Plasmen / Anforderungen an Beschichtungsverfahren