CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren

Herkömmliche, quasi-statisch betriebene elektrostatische Mikroaktoren sind in ihrer Maximalauslenkung aufgrund des geringen Elektrodenabstandes und zusätzlich durch einen instabilen Arbeitspunkt (Pull-In-Effekt) deutlich beschränkt. Folglich werden große Elektrodenabstände und damit hohe Steuerspannungen für große Bewegungsamplituden nötig. In dieser Arbeit werden Ergebnisse zu einem von unserer Gruppe verfolgten Ansatz elektrostatischer Biegeaktoren vorgestellt, welcher mit bimorph-ähnlicher Mechanik elektrostatische Kräfte in Biegebewegungen überführt. Hohe elektrostatische Kräfte innerhalb sehr kleiner Elektrodenspalte können so für große Bewegungen nutzbar gemacht werden.