2006
Doctoral Thesis
Title

Entwicklung eines Prozessmodelles zur Analyse und Prognose der Schnittspaltentwicklung beim Draht-Trennläppen von Silizium

Thesis Note
Zugl.: Aachen, TH, Diss., 2006
Author(s)
Huttenhuis op Bevers, Stephan
Publisher
Publishing Place
Aachen
Language
German