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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Reinraumtauglichkeit von Produktionseinrichtungen und Verbrauchsgütern
 
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1999
Conference Paper
Title

Reinraumtauglichkeit von Produktionseinrichtungen und Verbrauchsgütern

Other Title
Cleanroom suitability of process equipment and consumer goods
Abstract
Die Zahl der Prozesseinrichtungen und Verbrauchsgüter, die in reinen Umgebungen (z.B. Mikroelektronik, Pharmazie, Lebensmittelindustrie, Medizintechnik) eingesetzt werden, steigt stetig an. Der Ruf der Hersteller und Anwender nach Klärung der Frage, ob die Prozesseinrichtungen und Verbrauchsgütern den geforderten Reinheitskriterien gerecht werden, wird immer stärker. Hierfür bedarf es standardisierte Prüfungprozeduren für die objektive Qualifizierung des Kontaminationsverhalten von Prozesseinrichtungen und Verbrauchsgütern sowie einer abschließenden Bewertung.
Author(s)
Gommel, U.
Schließer, J.
Mainwork
Deutsche Reinraumtechnik Konferenz 1999  
Conference
Deutsche Reinraumtechnik Konferenz 1999  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • Qualifizierung

  • Reinheitsklasse

  • Reinraumtauglichkeit

  • Verbrauchsgüter

  • Prozeßeinrichtung

  • Kontaminationsquelle

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