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Plasma-aktivierte Abscheidung dünner Schichten bei Atmosphärendruck
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1998
Journal Article
Title
Plasma-aktivierte Abscheidung dünner Schichten bei Atmosphärendruck
Author(s)
Thyen, R.
Journal
JOT + Oberfläche. Journal für Oberflächentechnik
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
