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Konferenzschrift
Erzeugung funktioneller Oberflächen durch plasmaunterstützte Beschichtung mittels dielektrischer Barrierenentladung (DBD-PACVD)
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2010
Conference Paper
Title
Erzeugung funktioneller Oberflächen durch plasmaunterstützte Beschichtung mittels dielektrischer Barrierenentladung (DBD-PACVD)
Author(s)
Thomas, M.
Eichler, M.
Borris, J.
Lachmann, K.
Barreto, M.C.
Klages, C.-P.
Mainwork
6. Thüringer Grenz- und Oberflächentage (ThGOT) und 2. Thüringer Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik"
Conference
Thüringer Grenz- und Oberflächentage (ThGOT) 2010
Thüringer Kolloquium "Dünne Schichten in der Optik" 2010
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
