Fuzzy-Mikrosysteme in der Sensorik

Für Mikrosysteme werden oft on-chip-Sensoren benötigt, bei denen meist ein Kompromiß zwischen Meßgenauigkeit, Funktionssicherheit und Zuverlässigkeit auf der einen Seite und Integrierbarkeit, Größe und Kosten auf der anderen Seite geschlossen werden muß. Querempfindlichkeiten bezüglich Störgrößen und daraus resultierende Fehler erhöhen die Unschärfe der Meßwerte. Zur Lösung dieser Problematik eignet sich die Fuzzy-Logik, weil durch reduzierte Anforderungen an die Signalgenauigkeit und -auflösung der Einsatz kostengünstiger on-chip-Sensoren möglich wird. Als praktische Anwendungsbeispiele von intelligenten on-chip-Sensoren werden zwei Fuzzy-Mikrosysteme beschrieben: ein Fuzzy Mikrosystem zur Gasdiagnose und ein integriertes Multisspektralsensorsystem.