Mikrostrukturierung mit innovativen Laserverfahren

Die Herstellung funktionaler Oberflächen mit Strukturmerkmalen im Mikrometerbereich stellt für die Fertigungstechnik eine besondere Herausforderung dar. Ultrakurzpulslaser mit Pulsdauern im Femto- und Picosekundenbereich bieten hier Lösungen zur großflächigen Strukturierung mit Genauigkeiten im Nanometerbereich. Durch Kontrolle der zeitlichen Pulsfolge lassen sich die Produktivität des Verfahrens signifikant steigern und zusätzliche Prozessschritte, wie das Laserpolieren, integrieren.

The manufacturing of functional surfaces with feature size in the micrometre range is a distinct challenge in the field of production engineering. Ultra-short pulse lasers with pulse durations in the femto- and picosecond range offer solutions for large-area structuring with accuracies in the nanometer range. By controlling the temporal pulse sequence, the productivity of the process can be significantly increased and additional process steps such as laser polishing can be integrated.