Multispektral- und Polarisationssensoren in CMOS-Technologie

Nanostrukturen mit Hilfe von CMOS-Prozessen. Konventionelle optische Sensoren benötigen zu spektral- und polarisationsselektiven Detektion zusätzliche optische Bauelemente. Der vorliegende Beitrag stellt dagegen ein Konzept vor, bei dem diese filternde Wirkung durch optische Nanostrukturen wie beispielsweise Subwellenlängengitter erzielt wird, die direkt in den Metallschichten eines CMOS-Prozesses erzeugt werden. Auf diese Weise entstehen Hybridelemente aus filternden Nanostrukturen und Photodioden mit neuer optischer Funktionalität ("More than Moore").