2023
Report
Title

Hybrides HiPIMS/RF-Sputterverfahren zur wirtschaftlichen Erzeugung kompakter Oxid-Schichten

Author(s)
Fromm, Alexander  
Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM  
Mark, Günther
MELEC GmbH
Burmeister, Frank  
Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik IWM  
Löffler, Johannes
MELEC GmbH
Project(s)
Hybrides HiPIMS/RF-Sputterverfahren zur wirtschaftlichen Erzeugung kompakter Oxid-Schichten
Funder
Language
German