Monitoring in reinraumtechnischen Anlagen - Statistische Verfahren

Der Beitrag soll als Hilfestellung dienen, bei den Überlegungen zur Planung eines benutzerorientierten Monitoringsystems möglichst alle notwendigen Parameter zu benutzen. Zuerst werden die Parameter von Reinraumanlagen aufgezählt, die möglicherweise zu überwachen sind. Ebenso wird die beispielhafte Erstellung eines Monitoringplans für eine Fertigung erläutert. Anhand der zu erfassenden Parameter wird insbesondere auf die Partikelmesstechniken, die zur Verfügung stehenden Messgeräte und deren Einbindung in ein Monitoringsystem eingegangen. Die Auswertung, Daten aus Partikelmesssystemen, bildet den Abschluß des Beitrags.