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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Mobiles Probenahmesystem
 
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2011
Journal Article
Title

Mobiles Probenahmesystem

Title Supplement
Die Bestimmung luftgetragener molekularer Verunreinigungen
Abstract
Ein mobiles Probenahmesystem bestehend aus Probenahmepumpen für das personenbezogene Luftmonitoring in Verbindung mit entsprechenden TENAX TA Adsorberröhrchen ermöglicht es Anwendern, die vor Ort vorherrschenden Kontaminationen flüchtiger organischer Verbindungen (VOC) auf dem Adsorberröhrchen zu sammeln. Die spätere Analytik im Labor geschieht per Thermodesorptions-Gaschromatographie-Massenspektroskopie (TD-GC/MS). Die einzelnen VOC-Substanzen werden dabei qualitativ detektiert und anschließend quantifiziert. Eine Erweiterung des mobilen Probenahmesystems für andere Substanzen und Substanzgruppen ist individuell konfigurierbar. Als Ergebnis erhält der Anwender den TVOC-Wert verbunden mit der Aussage, ob prozesskritische Kontaminationen speziell für die Halbleiterindustrie (Amine, Organophosphate, Phthalate, Siloxane u.a.) vorhanden sind. Das mobile Probenahmesystem kann beim Fraunhofer IPA angefordert werden.
Author(s)
Keller, Markus  
Journal
ReinRaumTechnik  
File(s)
Download (297.14 KB)
Rights
Use according to copyright law
DOI
10.24406/publica-fhg-224513
Language
German
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA  
Keyword(s)
  • Ausgasung

  • Partikelemission

  • Partikelmesstechnik

  • VOC Emission

  • Volatile Organic Compounds (VOC)

  • Airborne Molecular Contamination (AMC)

  • Reinraum

  • emission

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