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2003
Journal Article
Title
Lichtstarke Röntgenspiegel - Interferenz-Multischichten zwingen Röntgenstrahlen in produktive Bahnen
Abstract
Die Extrem-Ultraviolett-Lithografie führt die Hersteller optischer Systeme an die Grenzen des Machbaren. Um Optiken in der erforderlichen Qualität fertigen zu können, müssen sie vor allem neue Messmethoden beherrschen.