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Fraunhofer-Gesellschaft
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  4. Lichtstarke Röntgenspiegel - Interferenz-Multischichten zwingen Röntgenstrahlen in produktive Bahnen
 
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2003
Journal Article
Titel

Lichtstarke Röntgenspiegel - Interferenz-Multischichten zwingen Röntgenstrahlen in produktive Bahnen

Abstract
Die Extrem-Ultraviolett-Lithografie führt die Hersteller optischer Systeme an die Grenzen des Machbaren. Um Optiken in der erforderlichen Qualität fertigen zu können, müssen sie vor allem neue Messmethoden beherrschen.
Author(s)
Braun, S.
Loyen, L. von
Mai, H.
Leson, A.
Zeitschrift
Laser + Photonik
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Language
German
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Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS
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