Kapazitiver Feuchtesensor auf flexiblem Substrat

Für die Integration auf flexiblen RFID-Tags wurden neuartige kapazitive Feuchtesensoren entwickelt. Dazu wurden verschiedene feuchtesensitive Polymere auf flexiblen PEN- und PI-Substraten abgeschieden und charakterisiert. Mit diesen Sensoren konnte eine gute Sensitivität und Selektivität, Linearität im Feuchtemessbereich von 0% bis 100% relative Feuchte sowie akzeptable Ansprechzeiten erzielt werden. Erste funktionsfähige RFIDLabels mit integrierter Feuchte- und Temperatursensorik wurden realisiert.