Schmierfette in der Reinraumtechnik. Einfluß von Schmierfetten auf das Partikelemissionsverhalten von Anlagen. Tl.1. Grundlagen

Die Verwendung von Schmierstoffen bei Anlagen in Reinräumen wird normalerweise mit einer gewissen Skepsis betrachtet, da u.a. befürchtet wird, daß die empfindlichen Produkte in der Nähe geschmierter Baugruppen zu stark kontaminiert werden könnten. Da innerhalb der Reinraumtechnik die Unterschiede zwischen den einzelnen Schmierfetten oft kaum bekannt sind und es vor allem hinsichtlich ihres Einflusses auf die Partikelemission bisher praktisch keine Untersuchungen gab, wurden am IPA in Zusammenarbeit mit einem Spezialschmiermittelhersteller entsprechende Untersuchungen durchgeführt, deren Ergebnisse in diesem zweiteiligen Beitrag vorgestellt werden.