Mikrosystemtechnische Bauelemente als Basis für neue Applikationen

Die rasch fortschreitende Entwicklung der Mikrosystemtechnik hat in den letzten Jahren eine Vielzahl neuerTechnologien und damit verbundener Produkte hervorgebracht, die ein erhebliches Potential für die Erschließung neuer Applikationen haben. Das Fraunhofer-Instiut für Mikroelektronische Schaltungen ud Systeme in Dresden arbeitet auf dem Gebiet der siliziumbasierten Mikrosystemtechnik, wobei neben der Verwendung des Substratmaterials Silizium auch die Anwendung von Fertigungstechniken aus diesem Bereich inkl. der monomithischen Integration von mikrosystemtechnischen Bauelementen mit CMOS-Schaltungen als Schwerpunkte zu nennen sind. Beispielhaft werden in diesem Vortrag ein 2-Achsen Fluxgate Magnetfeldsensor und ein 1-bzw- 2-Achsen Scannerspiegel als mikrosystemtechnischer Sensor bzw. Aktor vorgestellt.