Faseroptisches Interferometer mit miniaturisierter Messsonde zur hochgenauen Prüfung geometrischer Merkmale

Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung eines faseroptischen, interferometrischen Messsystems für die hochgenaue Abstandsmessung. Das System zeichnet sich durch eine miniaturisierte Messsonde aus, die eine Merkmalsprüfung in kleinen Bohrungen und Kavitäten ermöglicht. Anwendungsgebiete finden sich in der Prüfung geometrischer Attribute von komplexen Bauteilen und mikrosystemtechnischen Komponenten wie sie bei Mikrostrukturen, Optikbauteilen oder mechatronischen Systemen im Automobilbau (Einspritzdüsen) auftreten. Industriellen Anwendern steht somit eine neue Messtechnik zur Verfügung, die die Prüfung bisher unzugänglicher Merkmale ermöglicht und damit einen technologischen Wettbewerbsvorteil bietet.