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Konferenzschrift
Röntgenographische Spannungsanalyse von Schichten
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2005
Conference Paper
Title
Röntgenographische Spannungsanalyse von Schichten
Author(s)
Schreiber, J.
Fraunhofer-Institut für Zerstörungsfreie Prüfverfahren IZFP
Mainwork
Messtechnik für die Qualitätssicherung in der Dünnschichtindustrie
Conference
Workshop Messtechnik für die Qualitätssicherung in der Dünnschichtindustrie 2005
Language
German
IZFP-D
Keyword(s)
Spannungsanalyse
Röntgendiffraktion
Röntgenspiegel
