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Plasmaprozesse der nächsten Generation
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2016
Journal Article
Title
Plasmaprozesse der nächsten Generation
Title Supplement
Neue industrielle Beschichtungsverfahren
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Other Title
Plasma processes of the next generation
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Author(s)
Bandorf, R.
Journal
JOT. Journal für Oberflächentechnik
DOI
10.1007/s35144-015-0848-7
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST