2003
Doctoral Thesis
Title

Untersuchung des Puls-Magnetron-Sputterprozesses zur Abscheidung von Aluminiumoxid und des Einflusses einer gepulsten Biasspannung am Substrat

Thesis Note
Dresden, TU, Diss., 2003
Author(s)
Wünsche, T.
Publishing Place
Dresden
Language
German