Laser knacken winzige Schmutzpartikel

In hybriden Kleinst- und Mikrosystemen sind auf engstem Raum die unterschiedlichsten Komponenten vereinigt. Herkömmliche, integrale Reinigungsverfahren sind hier nur begrenzt einsetzbar. Was eine Komponente reinigt, kann die benachbarte schwer schädigen. Abhilfe verspricht ein neuartiges lokales, laserinduziertes Reinigungsverfahren, das Wissenschaftler des Fraunhofer IPA entwickelt haben.