2015
Conference Paper
Title

Technologieentwicklung einer post-process Elektrodenspaltverringerung zur Herstellung von hochauflösenden Sensorsystemen

Author(s)
Meinecke, Christoph Robert
Mueller, M.
Rennau, Michael
Reuter, Danny  
Ebert, R.
Bertz, Andreas  
Exner, H.
Geßner, Thomas  
Mainwork
Conference
Language
German