Methoden zur Bestimmung von mechanischen Eigenschaften von Mikrokomponenten

Für die Auslegung von Mikrobauteilen und -systemen sind auch deren mechanische Eigenschaften von großer Bedeutung; denn makromechanische Kennwerte dürfen nicht ohne weiteres für die Bewertung solcher Komponenten verwendet werden: - aus der Makromechanik bekannte Verfahren zur Kennwertbestimmung können nur unter Anpassung an die deutlich anderen Gegebenheiten in den Mikrobereich übertragen werden; - versuchsbeschreibende analytische Lösungen verlieren ihre Gültigkeit; - der experimentelle Meßaufwand wächst wegen der hohen Genauigkeitsanforderungen erheblich an. Zur Überwindung dieser Schwierigkeiten können numerische Simulationsrechnungen erfolgreich eingesetzt werden, weil damit die Analyse und Trennung komplexer Parameterabhängigkeiten sowie eine zuverlässigere Interpretation der Meßergebnisse ermöglicht wird.