Spezifikationen von Reinraum-Monitoring-Systemen

In Fertigungen im Reinraumbereich gewinnt die Überwachung der Prozeßparameter und Umgebungsbedingungen, wie z.B. die Partikelkontamination durch ständig wachsende Anforderungen mehr und mehr an Bedeutung. Den Anforderungen werden Monitoring-Systeme mit automatisierter Meßdatenerfassung und -verarbeitung gerecht. Dieser Beitrag zeigt am Beispiel der Partikelkontamination in hochreinen Medien, wie ein für den Anwender integrierbares, automatisiertes Monitoring-System konzipiert und realisiert wurde.