Automatischer Abgleichalgorithmus für integrierte CMOS-Drucksensoren mit on-chip Programmierung.

In diesem Beitrag wird ein integrierter piezoresistiver Silizium-Drucksensor vorgestellt, bei dem alle für die Kalibrierung relevanten Parameter (Offsetspannung, Ausgangssignal, Temperaturkoeffizienten von Offsetspannung und Empfindlichkeit) auf dem Chip digital programmiert und gespeichert werden können. Der rechnergestützte Abgleich des Drucksensors wird mit dem Newton-Algorithmus vorgenommen. Durch die digital programmierbare Temperaturkompensation ergibt sich für den Offset und die Empfindlichkeit ein Restfehler von <1% im Temperaturbereich von -25øC bis 85øC, sowie ein Restfehler von <2% im Temperaturbereich von -40øC bis 125øC. Die Verstärkung des Brückensignals ermöglicht ein Spannungshub von 4,0 V bei einem Nullsignal von 1,0 V.