2014
Doctoral Thesis
Title

Mikrobump-Entwicklung mit einem Pitch von 6 mm unter Verwendung eines Ionenstrahlätzprozesses

Thesis Note
Duisburg-Essen, Univ., Diss., 2014
Author(s)
Heß, Jennifer  
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS  
Advisor(s)
Vogt, Holger
Uni DuE / EBS
Schmechtel, Roland
Publishing Place
Duisburg-Essen
Link
Language
German