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Abschlussarbeit
Konzepte zur Integration spannungsfester Bauelemente in eine Submikrometer-CMOS-Technologie
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2000
Doctoral Thesis
Title
Konzepte zur Integration spannungsfester Bauelemente in eine Submikrometer-CMOS-Technologie
Thesis Note
Zugl.: Duisburg, Univ., Diss., 1999
Author(s)
Figge, Martin
Publisher
Shaker
Publishing Place
Aachen
Language
German
Fraunhofer-Institut für Mikroelektronische Schaltungen und Systeme IMS
Keyword(s)
process integration
HVCMOS
high voltage
submicron
Submikrometerbereich
Hochspannung
