Herstellung von Polymer- und Polymer-Metalloxid-Kompositschichten

Organische Materialien werden bislang kaum in optischen Interferenzschichten eingesetzt. Ursächlich hierfür sind neben ihrer relativ geringen mechanischen Beständigkeit die oft komplexeren Technologien zur Herstellung dünner organischer Schichten und die im Vergleich zu oxidischen Materialien mangelhafteren optischen Eigenschaften. Dennoch bieten einige organische Materialien spezielle Eigenschaften, welche sie für den Einsatz in optischen Schichtsystemen durchaus interessant machen. Zwar sind diese Schichten relativ weich, jedoch können sie durch ihre hohe mechanische Flexibilität mechanische Spannungen in Schichtsystemen abbauen. Einige organische Materialien zeigen darüber hinaus spezielle optische Effekte wie Fluoreszenz oder intensive Farben, welche in optischen Schichtsystemen genutzt werden können. Hydrophile und hydrophobe organische Deckschichten können zudem das Verschmutzungsverhalten von optischen Schichtsystemen positiv beeinflussen. Aus diesem Grund stellen wir in diesem Artikel eine Reihe von Beschichtungstechniken für organische Substanzen aus der Gasphase vor und berichten über einige grundlegende optische und mechanische Schichteigenschaften sowie über wichtige Prozesscharakteristika.

Organic materials are not yet commonly used for optical interference layer systems. The reasons therefor are their low mechanical resistivity, their often more complex deposition techniques and their poorer optical properties compared with oxide thin films. However some organic materials offer special properties that are useful for the application in optical layer systems. Because of its high mechanical flexibility mechanical stress in layer systems can be reduced. Some organic materials show specific optical properties like fluorescence or intensive colors that can be used for optical layer systems. Hydrophilic and hydrophobic organic top coatings can improve the pollution behavior of optical layer systems. Therefore we present in this work some gas phase deposition techniques for organic substances and report about some basic optical and mechanical properties of thin films coated with these as well as some important process characteristics.