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1995
Conference Paper
Title
Monolithisch integrierter Drucksensor mit Ausleseelektronik
Abstract
In diesem Beitrag wird ein kapazitiver Drucksensor mit Ausleseelektronik vorgestellt. Die monolithische Integration des Drucksensors in Oberflächen-Mikroemechanik mit einer Ausleseelektronik basiert auf einen Standard-CMOS-Prozeß. Die druckabhängige Kapazität des Sensors wird in eine analoge Ausgangsspannung gewandelt. Ausgelegt ist das System für einen Temperaturbereich von -20øC bis +120øC.