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Konferenzschrift
Das MicroDAC-Verfahren - eine Methode zur quantitativen Verformungsbewertung von Mikrokomponenten im Rasterelektronenmikroskop
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1995
Conference Paper
Title
Das MicroDAC-Verfahren - eine Methode zur quantitativen Verformungsbewertung von Mikrokomponenten im Rasterelektronenmikroskop
Author(s)
Michel, B.
Kühnert, R.
Mainwork
2. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik, und Mikroelektronik '95. Proceedings
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik 1995
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM