• English
  • Deutsch
  • Log In
    Password Login
    Research Outputs
    Fundings & Projects
    Researchers
    Institutes
    Statistics
Repository logo
Fraunhofer-Gesellschaft
  1. Home
  2. Fraunhofer-Gesellschaft
  3. Konferenzschrift
  4. Das MicroDAC-Verfahren - eine Methode zur quantitativen Verformungsbewertung von Mikrokomponenten im Rasterelektronenmikroskop
 
  • Details
  • Full
Options
1995
Conference Paper
Title

Das MicroDAC-Verfahren - eine Methode zur quantitativen Verformungsbewertung von Mikrokomponenten im Rasterelektronenmikroskop

Author(s)
Michel, B.
Kühnert, R.
Mainwork
2. Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik, und Mikroelektronik '95. Proceedings  
Conference
Chemnitzer Fachtagung Mikrosystemtechnik, Mikromechanik und Mikroelektronik 1995  
Language
German
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration IZM  
  • Cookie settings
  • Imprint
  • Privacy policy
  • Api
  • Contact
© 2024