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Herstellung keramischer Schichten mittels Gasflußsputtern
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1995
Journal Article
Title
Herstellung keramischer Schichten mittels Gasflußsputtern
Author(s)
Jung, T.
Journal
JOT + Oberfläche. Journal für Oberflächentechnik
Language
German
Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
