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Abschlussarbeit
Konstruktion und Aufbau eines rechnergestützten Messplatzes zur Bestimmung der Schockfestigkeit von MEMS-Bauteilen und Aufnahme einer Messreihe
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2004
Diploma Thesis
Title
Konstruktion und Aufbau eines rechnergestützten Messplatzes zur Bestimmung der Schockfestigkeit von MEMS-Bauteilen und Aufnahme einer Messreihe
Thesis Note
Lübeck, FH, Dipl.-Arb., 2004
Author(s)
Kreutzer, S.
Publishing Place
Lübeck
Language
German
Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie ISIT