Silizium - Werkstoff der Mikrosystemtechnik

Aufgrund des hohen Reinheitsgrads und der Kristallperfektion weist monokristallines Silizium hervorragende mechanische Eigenschaften auf. Der Wert für den Elastizitätsmodul ist vergleichbar zu dem von Stählen. Da Silizium ein sprödes Material ist, ist die Streckgrenze zugleich die Bruchspannung. Dies gilt für Temperaturen bis ca. 500xC. Diese Eigenschaften macht man sich zunutze, im mikromechanische Sensoren und Aktoren aus Silizium herzustellen. In diesem Artikel werden zwei typische Beispiele zur Herstellung von Silizium-Mikrodrucksensoren aufgezeigt. Dabei wird in dem einen Beispiel ein Sensor mit dem Verfahren der Oberflächenmechanik, in dem anderen mit dem der Substratmikromechanik vorgestellt.