Realisierung von monolithisch integrierten Mikrosystemen

Der Vortrag zeigt an Beispielen, wie im Fraunhofer-Institut Mikroelektronische Schaltungen und Systeme durch Erweiterung einer SMOS-Technologie neuartige monolithische Mikrosysteme realisiert wurden. So werden u. a. Sensorsysteme für Druck, Durchfluß, Infrarotstrahlung und Magnetfeld sowie Mikrospiegelanordnungen mit aktiver CMOS-Ansteuerung als Lichtmodulatoren vorgestellt.